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RTP HR系列快速热退火炉

RTP HR系列快速热退火炉

       快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),在吸收了原有生产制造工艺的基础上,自主研发了该款产品,拥有发明专利。该设备不但拥有较快的升温速率500℃/S,而且在烧结工艺运行完结,直接将试样在高温区取出。实现物理状态下的快速降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺,在绿色节能环保的基础上真正的实现了试样的快速升降温!

腔体采用了新颖的进气结构,内管进气,外管出气,使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备。测温元件直接和试样接触,保证试样温度的准确性。


 

型  号

最高

温度

最快升温速率

℃/S

管 径

处理晶片

加热区

恒温区±2℃

外形尺寸mm

功率

重 量

(内)mm

尺寸 in

长度mm

长度mm

Kg(约)

NBD-HR1200-110IT-170

1200℃

500

103

4″

200

120

800

540

750

AC380V15kw

40


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来源:http://www.nbdkj.cc/supply/152.html

发布时间 : 2017-12-04 00:00:00